A válvula de vácuo é uma válvula de porta especial usada especialmente em sistemas de pressão ou pressão negativa. Seu design principal gira em torno de uma taxa de vedação ultra-alta e baixa taxa de geração. O princípio e as características de trabalho são os seguintes:
1. Definição do núcleo
Posicionamento funcional
É usado em um ambiente limpo ultra-alto, com grau de vácuo menor ou igual a 1 × 10⁻⁶ PA para impedir que o gás externo penetre ou material interno de superar e contaminar a cavidade a vácuo.
Standard Standard
A taxa de vazamento é estritamente controlada em menor ou igual a 1 × 10⁻vio Pa · m³/s (padrão de detecção de vazamento de hélio), que é muito maior que as válvulas industriais comuns.
2. Características estruturais -chave
Sistema deselagem
Adote o selo dinâmico de fole de metal all-metal (substitua a caixa de recheio tradicional) para eliminar micro-pulmões causada pelo movimento da haste da válvula.
A superfície de contato entre a porta e o assento da válvula é polida do espelho (AR menor ou igual a 0,2μm) e o anel de vedação da liga de ouro-cobre é usado para atingir a ligação de nível molecular.
Seleção de material
O corpo da válvula é feito de aço inoxidável de carbono ultra-baixo 316L e a área da superfície é reduzida por polimento eletrolítico (redução da adsorção de gás).
O fole é feito de Hastelloy C-276 e pode suportar maior ou igual a 100.000 cargas alternadas por pressão atmosférica a vácuo.
Design Especial
A cavidade da válvula está equipada com uma porta de escape auxiliar (interface do flange KF16) para pré-evacuar e equilibrar a diferença de pressão antes de abrir e fechar.
O tipo de baixa temperatura está equipado com uma jaqueta de resfriamento de nitrogênio líquido para impedir que a alta temperatura faça com que o material de vedação esvazie.
3. Modo de trabalho
Opening Process
Inicie pela primeira vez a bomba de vácuo auxiliar para evacuar a cavidade da válvula para o mesmo nível de vácuo que o sistema (para impedir a perturbação do fluxo de ar).
O fole dirige o portão para subir verticalmente, e o coeficiente de condutividade de fluxo é maior ou igual a 0,95 quando o canal de fluxo está totalmente aberto.
Closing Process
Quando o portão cai, o interruptor de limite é acionado automaticamente e o escape secundário é iniciado para garantir que o gás residual na cavidade da válvula seja esgotado.
A superfície de vedação de contato produz um efeito autodidata sob a pressão negativa do sistema. Quanto maior a diferença de pressão, mais apertado o selo.
4. Cenários de aplicação típicos
Equipamento de pesquisa científico
Isolamento segmentado de oleodutos de feixe de vácuo de acelerador de partículas (como a Organização Europeia de Pesquisa Nuclear LHC). Válvula de proteção a vácuo ondulador para fonte de radiação síncrotron.
Equipamento industrial
Controle de injeção da câmara de reação para a máquina de revestimento ALD semicondutores.
Válvula de isolamento de emergência para câmara de teste de vácuo térmico da nave espacial.
Campo especial
Isolamento a vácuo do primeiro sistema de resfriamento de parede do dispositivo de fusão nuclear (como o ITER).
Amostra de vedação de canal de transferência da câmara de simulação de poeira lunar.
5. Indicadores de desempenho
Faixa de temperatura : -196 grau (resfriamento de nitrogênio líquido) a 450 graus (tipo de cozimento em alta temperatura).
Range Range: DN10 Micro Válvula para DN800 Câmara de trava de vácuo grande DN800.
Modo de operação : unidade manual de engrenagem de minhocas, abertura rápida pneumática (tempo de resposta<1s), electric stepping control (positioning accuracy 0.01mm).
6. Pontos de manutenção
A detecção de vazamento de espectrometria de massa de hélio é necessária após cada 1000 operações, e a montagem do fole precisa ser substituída se a taxa de vazamento exceder o padrão.
A superfície de vedação de contato precisa ser polida a cada 5 anos para restaurar o acabamento da superfície.
É proibido usar acetona e outras substâncias orgânicas para limpeza. Recomenda -se a limpeza a seco plasmática.