A válvula de vácuo é um dispositivo essencial para a regulação do fluido em um ambiente de vácuo através de vedação de precisão e controle de acionamento. Seu mecanismo de trabalho pode ser dividido nos seguintes módulos principais:
1. Mecanismo de trabalho central
Partição deselagem
ADOPTAMENTE O SELO DÍNICA DÍNICA DE BELLES ALL METAL (Em vez de embalagem tradicional), os fole se expandem e se contraem quando a haste da válvula se move para manter a travestia da câmara de vácuo, e a taxa de vazamento é menor ou igual a 1 × 10⁻vio Pa · m³/s.
Quando o portão é fechado, forma um ajuste molecular com o assento da válvula polido de espelho (AR menor ou igual a 0,2μm) e coopera com o anel de vedação da liga de cobre para melhorar o efeito de vedação de contato.
Controle de Drive
Manual Tipo: transmissão de engrenagem de minhoca, o fole é acionado para cima e para baixo girando a roda da mão e o torque é menor ou igual a 15n · m4.
Tipo elétrico: acionamento do motor de passo, precisão de posicionamento de 0,01 mm, adequado para o sistema de transmissão de wafer semicondutores.
Tipo pneumático: o ar comprimido aciona o pistão do cilindro, o tempo de resposta é<1s, and it is used for emergency isolation of spacecraft vacuum chambers.
Equilíbrio de pressão
O corpo da válvula está equipado com uma porta de extração de ar auxiliar KF16. Antes de abrir e fechar, uma bomba de vácuo independente é usada para equilibrar a diferença de pressão entre a cavidade da válvula e o sistema (ΔP ＜ 10Pa) para evitar distúrbios do fluxo de ar.
2. Modo de trabalho típico
| Modo | Processo de operação | Aplicativo |
|---|---|---|
| fLeded | O portão pressiona completamente o assento da válvula para formar uma vedação dupla (fole + superfície de contato) | Isolamento do tubo de feixe de acelerador de partículas |
| Regulação do fluxo | A abertura da placa da válvula é controlada a 10%a 90%e o controle de fluxo linear é alcançado através do sulco de aceleração em forma de V | Injeção de gás para processo de revestimento a vácuo |
| Corte rápido | Atuador pneumático desencadeia procedimento de desligamento de emergência, tempo de resposta menor ou igual a 0,3s | Emergência de vazamento de dispositivo de fusão nuclear |
| Manutenção de pressão | Vinculado ao medidor de vácuo, a abertura da válvula é automaticamente ajustada para manter o grau de vácuo definido (± 0,5pa) | Câmara de simulação de ambiente espacial |
3. Características do material e do processo
Body de válvula : 316L Polimento eletrolítico de aço inoxidável de carbono 316L, reduzindo a área da superfície de adsorção de gás em mais de 60%
Componentes deselagem: Hastelloy C-276 Bellows (resistente a 100.000 ciclos de fadiga) + anel de vedação de cobre sem oxigênio (Vickers HUDEND HV80)
Surface Tratamento : vedação de Íons de Íons de Superfície Plafeto de titânio (espessura 2μm), coeficiente de atrito reduzido para 0,08.
4. Comparação de cenário de aplicação
| Campo | Tipo de válvula | Requisitos de vácuo | Necessidades especiais |
|---|---|---|---|
| Fabricação de semicondutores | Válvula de vácuo elétrica alta | Menor ou igual a 1 × 10⁻⁷ pa | Resistente a assar 150 graus, liberação de partículas zero |
| Teste de espaçonave | Válvula de fechamento rápido pneumático | Menor ou igual a 1 × 10⁻⁵ pa | Resistência à vibração (20-2000Hz) |
| Fonte de radiação síncrotron | Válvula de portão refrigerada a líquido | Menor ou igual a 1 × 10⁻⁹ pa | Jaqueta de resfriamento de nitrogênio líquido (-196 grau) |
| Dispositivo de fusão nuclear | Válvula de isolamento resistente à radiação | Menor ou igual a 1 × 10⁻⁴ pa | Resistência à irradiação de nêutrons (10 pontos N/cm²) |
5. Parâmetros de limite de desempenho
Faixa de temperatura: -269 (tipo de resfriamento de hélio líquido) a 450 graus (tipo de liga de alta temperatura)
Faixa de diâmetro: micro válvula φ6mm a grande válvula de câmara de vácuo φ1200mm
Índice de Vida: Montagem de vedação de fole maior ou igual a 50.000 ciclos de abertura e fechamento